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產品型號

大口徑管式真空氣氛爐 GSL-1100X

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1,、水：不需要

2,、電： AC380V 50Hz，必須有良好接地

3 ,、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用,，需自備氣源 （標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4,、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,，承重 300kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1 ,、石英管外徑為 6″ ,、8″ 、8.5″ ,、11″

2 ,、采用 PID 控制器， 可以設置 51 段控溫程序,。

3,、控溫精度高，保溫效果好,，溫度范圍大,，爐膛溫度均勻性高,，可通氣氛抽真空。

4,、安全可靠,，操作簡單。

技術參數(shù)

1 ,、電源： AC 380V    50Hz/60Hz    5KW

2,、石英管： Ø152mm×1000mm，Ø203mm×1000mm,，Ø216mm×1000mm,，Ø280mm×1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁

4,、加熱區(qū)域： 900mm

5,、溫區(qū)： 3 個， 各 300mm 長

6,、恒溫區(qū)域： 550mm

7 ,、溫度： 1100℃

8、工作溫度： 1000℃

9,、升溫速率： 20℃/min

10,、推薦升溫速率： 10℃/min

11、控溫精度：± 1℃

12,、控溫段數(shù)： 51 段

產品規(guī)格

尺寸： 1300mm×650mm×1050mm,；重量： 150kg

標準配件

1

石英管

1 根

2

管堵

4 個

3

坩堝鉗

1 把

4

熱電偶

1 根

5

真空法蘭

1 套

6

高溫手套

1 雙

可選配件

1、石英管

2,、氧化鋁坩堝

3,、石英坩堝

4、真空泵