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產(chǎn)品型號

1600℃三溫區(qū)高溫真空管式爐 GSL-1600X-III

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用,，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ,，承重 300kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

控溫精度高，保溫效果好,，溫度范圍大,，溫度均勻性高，溫區(qū)多，可通氣氛抽真空及安全可靠,、 操作簡單等特點(diǎn),。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2,、氧化鋁陶瓷管： 外徑 ?60mm ，?80mm ,，長 1200mm

3,、加熱元件： 溫區(qū) I 硅碳棒， 溫區(qū) II 硅鉬棒,， 溫區(qū) I 硅碳棒

4 ,、工作溫度： 1300℃（溫區(qū) I）， 1500℃（溫區(qū) II）,， 1300℃（溫區(qū) III）

5 ,、溫度： 1400℃（溫區(qū) I）， 1600℃（溫區(qū) II）,， 1400℃（溫區(qū) III）

6 ,、控溫精度：±1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 860mm×470mm×720mm；重量： 150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁陶瓷管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

真空法蘭

1 套

4

坩堝鉗

1 把

5

高溫手套

1 雙

可選配件

1,、高真空系統(tǒng)

2,、供氣混氣系統(tǒng)

3、石英管

4,、氧化鋁坩堝

5,、石英坩堝

6、雙級旋片真空泵

7 ,、PC 控制軟件