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產(chǎn)品型號(hào)

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐 GSL-1400X-Ⅲ

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1,、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3 ,、氣：如作為CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4,、工作臺(tái)： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維,，真空吸附一次成型,。

2、高密度硅碳棒,，真空擠壓成型,。

3 、密封法蘭,，可通入氣氛抽真空,。

4 、已通過(guò) CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、剛玉管： Ø60mm×1000mm ,，Ø80mm×1000mm

3,、加熱元件： 硅碳棒

4,、熱電偶： S 型

5、恒溫區(qū)域： 120mm

6 ,、工作溫度：  1400℃ ,，連續(xù)工作 1300℃

7、控溫精度：± 1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 860mm×470mm×720mm,；重量： 120kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

剛玉（氧化鋁）管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個(gè)

3

熱電偶（ S 型）

1 個(gè)

4

不銹鋼法蘭

1 套

5

硅膠密封圈

6 個(gè)

6

高溫手套

1 雙

可選配件

1 ,、PC 機(jī)控制軟件及通訊模塊

2、數(shù)字真空計(jì)

3,、剛玉管,、石英管

4、氧化鋁坩堝,、石英坩堝

5,、坩堝鉗

6、高真空系統(tǒng)

7,、供氣混氣系統(tǒng)

8,、雙級(jí)旋片真空泵