目錄:北京鴻瑞正達科技有限公司>>橢偏儀>> SE-i 光譜橢偏儀03090808
SE-i 光譜橢偏儀
產品簡介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,，針對有機/無機鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),，快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析,。光譜橢 偏儀廣泛應用于金屬薄膜,、有機薄膜,、無機薄膜的物理/化學氣相沉積,， ALD 沉積等光學薄 膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數據,。
產品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術參數 | 1、自動化程度：固定變角 2,、應用定位：原位定制型 3,、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光譜 4,、分析光譜： 380-1000nm,，支持按需定制化 5、單次測量時間： 0.5-5s 6,、重復性測量精度： 0.01nm 7,、入射角范圍： 65°（支持定制） |
2
化工儀器網