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SE-i 光譜橢偏儀03090808

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更新時間：2024-03-07 21:06:49瀏覽次數(shù)：641

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產(chǎn)品簡介

SE-i光譜橢偏儀產(chǎn)品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀,，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

詳細(xì)介紹


SE-i 光譜橢偏儀


img1


產(chǎn)品簡介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究 的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析,。光譜橢 偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜,、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,， ALD 沉積等光學(xué)薄 膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。




產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1,、自動化程度：固定變角


2、應(yīng)用定位：原位定制型


3,、基本功能： Psi/Delta,、N/C/S 等光譜


4、分析光譜： 380-1000nm,，支持按需定制化


5,、單次測量時間： 0.5-5s


6、重復(fù)性測量精度： 0.01nm


7,、入射角范圍： 65°（支持定制）


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