您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： SE-L 光譜橢偏儀是一款全自動高精度光譜橢偏儀,，集眾多科技技術(shù),，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動測量模塊,。通過橢偏參數(shù),、 透射/反射率等參數(shù)的測量,，快速實現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,。SE-L 光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜,、高分子,、光刻膠、硅,、 PZT 膜,，激光二極管 GaN 和AlGaN、透明的電子器件,、平板顯示,、光伏太陽能、功能性涂料,、生物和化學(xué)工程,、塊狀材料分析等領(lǐng)域。
| 產(chǎn)品型號 | SE-L 光譜橢偏儀 |
| 主要特點 | 1,、高精度自動測量光學(xué)橢偏測量解決方案
2,、全自動變角、調(diào)焦等控制平臺,，一鍵快速測量
3,、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計，易上手,、操作便捷
4,、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,，保證強大數(shù)據(jù)分析能力
5、采用氘燈和鹵素燈復(fù)合光源,，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
6,、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、 PCRSA 配置,， 實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采 集
7,、全自動橢偏測量技術(shù)，基于行業(yè)電機控制技術(shù),，全自動調(diào)整測量角 |
|
| 度,，高精度控制樣件臺，實現(xiàn)樣件快速自動對準找焦
8,、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜
9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫,、多種算法模型庫,，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、自動化程度：自動變角
2,、應(yīng)用定位：自動型
3,、基本功能： Psi/Delta、N/C/S,、R/T 等光譜
4,、分析光譜： 380-1000nm(可擴至 193-2500nm)
5、單次測量時間： 0.5-5s
6,、重復(fù)性測量精度： 0.01nm
7,、光斑大小： 大光斑 2-3mm,微光斑 200um
8,、入射角調(diào)節(jié)方式：自動變角
9,、入射角范圍： 45-90°
10、找焦方式：自動找焦
11,、Mapping 行程： 支持 100x100mm(可選配)
12,、支持樣件尺寸： 至 200mm |
| 可選配置 | 波段選擇
V:380-1000nm
UV:245-1000nm
XN:210-1650nm
DN+:193-2500nm 角度選擇
自動:45-90°
其他選擇 |
|
| Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制)
溫控臺:室溫一 600℃(供參考,按需定制) | |
| 可選配件 | 1 | 溫控臺 |
| 2 | Mapping 擴展模塊 | |
| 3 | 真空泵 | |
| 4 | 透射吸附組件 | |