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產(chǎn)品型號

1200℃立式真空小管式爐 OTF-1200X-S-VT

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下,，溫度25℃±15℃ ,，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。

1,、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 ,、氣：如作為CVD 系統(tǒng)使用,，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4,、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ,，承重 100kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、雙層殼體,，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃,。

2,、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3 ,、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命,。

4 ,、采用 K 型熱電偶進(jìn)行測溫,。

5 、PID 控制器,， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序,。

6 、已通過 CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    1.2KW

2、石英管： 外徑 Ø25mm ,，內(nèi)徑 Ø20mm ,，長 450mm

外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ,，長 450mm

3,、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4,、加熱區(qū)域： 200mm

5,、恒溫區(qū)域： 100mm

6 、工作溫度：  1200℃ ,，連續(xù)工作 1100℃

7,、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9,、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）,， 10-5torr  （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 300mm×340mm×1000mm；重量： 20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

不銹鋼法蘭

2 個

4

高溫手套

1 雙

可選配件

1,、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2,、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3 、KF25 轉(zhuǎn)接頭

4,、卡套接頭

5,、滑軌法蘭

6、移動爐架