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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： 混氣系統 4 路質子 GSL-4Z 是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐， 這種氣體控 制系統安裝在移動架內,， 管式爐可以放在移動架上面,， 氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的 調節(jié)閥，可以用于 CVD 系統及退火爐,，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,，在半導體和集成電路工業(yè)、特種 材料學科,、化學工業(yè),、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,， 廣泛應 用于電子工藝設備,， 如擴散、氧化,、外延,、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備,、光纖熔煉,、混氣配氣系統及 其它分析儀器。
產品型號 | 混氣系統 4 路質子 GSL-4Z |
主要特點 | 精度高,，運行穩(wěn)定可靠,，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作,，且操作使用方便,。 |
技術參數 | 1、電源： 185-245V 50Hz 2,、輸出功率： 18W 3,、控制范圍： 控制器 1——0-100SCCM 、控制器 2——1-199SCCM,、 控制器 3——1-199SCCM ,、控制器 4——1-499SCCM |
4、壓力： 3×106 Pa 5,、準確度：± 1%FS 6,、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8,、響應時間： 氣特性 1-4s ,，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 |
9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa | |
10,、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11,、混氣罐： ?80mm×120mm 12、截止閥： ?1/4″ ,，316 不銹鋼針閥 | |
13,、工作溫度： 5-45℃ | |
產品規(guī)格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |