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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品簡介： 多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐， 這種氣體控制系 統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),， 管式爐可以放在移動架上面,， 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié) 閥，可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐,，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,，在半導體和集成電路工業(yè),、特種材料 學科、化學工業(yè),、石油工業(yè),、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,， 廣泛應用于 電子工藝設備,， 如擴散、氧化,、外延,、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備,、光纖熔煉,、混氣配氣系統(tǒng)及其它 分析儀器。
產(chǎn)品型號 | 混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z ,、混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z ,、混氣系統(tǒng) 4 路質(zhì)子 GSL-4Z |
主要特點 | 精度高，運行穩(wěn)定可靠,，工作壓力范圍寬,，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便,。 |
技術(shù)參數(shù) | 1,、電源： 185-245V 50Hz 2、輸出功率： 18W 3,、控制范圍： GSL-2Z 控制器 1——1-199SCCM ,、控制器 2——1-499SCCM GSL-3Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM ,、 控 制 器 3——1-499SCCM |
GSL-4Z 控 制 器 1——0-100SCCM ,、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-199SCCM ,、控制器 4——1-499SCCM 4,、壓力： 3×106 Pa 5,、準確度：± 1%FS 6,、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8,、響應時間： 氣特性 1-4s ,，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa |
10,、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11,、混氣罐： ?80mm×120mm | |
12,、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥 | |
13,、工作溫度： 5-45℃ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |