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產(chǎn)品型號(hào)

1200℃三溫區(qū)可傾斜旋轉(zhuǎn)爐 OTF-1200X-5L-R-III

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3,、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有雙卡套接頭）

4,、工作臺(tái)： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ,，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、雙層殼體,，設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)。

2,、采用高純氧化鋁纖維材料,，具有的保溫性、節(jié)能性,。

3 ,、內(nèi)爐膛表面涂有 1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料，有效地提高反射率及爐膛潔凈度,。

4,、采用上翻蓋開(kāi)啟方式，不僅方便更換爐管,，且可快速降溫冷卻,。

5、石英管內(nèi)設(shè)有揚(yáng)料板,，可以更好的混合材料,。

6 、已通過(guò) CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

1 ,、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2 、石英管： 異型管,， 總長(zhǎng) 1200mm ,，兩端 ?60mm×420mm ，中間外徑 ?130mm ,，內(nèi)徑 120mm

3,、爐管旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速： 0-10rpm

4、爐體傾斜角度： 0-30°

5,、加熱區(qū)域： 總長(zhǎng) 600mm ,，溫區(qū) I 長(zhǎng) 150mm ，溫區(qū) II 長(zhǎng) 300mm ,，溫區(qū) III 長(zhǎng) 150mm

6,、恒溫區(qū)域： 450mm  （三個(gè)溫區(qū)可以設(shè)置同一溫度）

7,、工作溫度：  1200℃（<1h），連續(xù)工作 1100℃

8,、控溫精度：± 1℃

9,、產(chǎn)率： 2kg/爐

10、真空度： 10-2torr

11,、進(jìn)氣口： ?6.35mm 卡套接頭

12,、出氣口： ?12mm 寶塔嘴接頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 900mm×600mm×1500mm；重量： 130kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

不銹鋼法蘭

1 套