目錄:北京中科科儀光電科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>掃描電鏡制樣設(shè)備>> SBC-16磁控離子濺射儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,能源,制藥/生物制藥 |
主要特性
1,、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損,。
2,、操作容易快捷， 控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制,。
3,、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果,。
4,、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,,，Pt,,，Pt/Pd（Au 靶為標配）， 靶材更換快速方便,。
技術(shù)參數(shù)
濺射系統(tǒng) | |
靶材 | Au 靶為標配,，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標準樣品臺 | 可以裝載 12 個 SEM 樣品座,，高度可調(diào)范圍為 60mm |
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺（選配） | 旋轉(zhuǎn)速度： 0~60rpm 連續(xù)可調(diào),，傾斜角度： -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào)； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm,； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm,； 標配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺,， 其它規(guī)格可訂 做,； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫 落。 |
濺射電流 | 微處理器控制,， 安全互鎖,，可調(diào)，電流 5~30mA,，程序化數(shù)字控制 |
計量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar,，電流： 0~99mA |
控制方法 | 帶有 “開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣,、濺 射,、關(guān)機后自動放氣。 |
真空系統(tǒng) | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 10-4 mbar 級 |
噪音 | 56dB |
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