當(dāng)前位置：江西省江崎貿(mào)易有限公司>>其他>>SMC>> XLD-40K-M9江崎供應(yīng)日本SMC氣動真空閥

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參考價: ￥ 3000

訂貨量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號XLD-40K-M9

品牌SMC/日本

廠商性質(zhì)代理商

所在地萍鄉(xiāng)市

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更新時間：2024-12-24 14:20:27瀏覽次數(shù)：206次

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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

江崎供應(yīng)日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9

高真空角（L 形）閥,，用于防止泵在過載時運(yùn)行,。

[功能]

·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）

? 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)緊湊化和節(jié)省

配管? 排氣時防止灰塵在腔室內(nèi)卷起

? 初始排氣閥流量可調(diào)

? 氣動型/帶電磁閥

? 由于排氣量少，因此泵容量小,，可縮短

排氣時間? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬,，濺射率低，因此晶圓

上的重金屬污染很少? 強(qiáng)氟

·均勻的烘烤溫度,。導(dǎo)熱性好,，全身溫度均勻，大大降低產(chǎn)品粘附

性重量輕,、結(jié)構(gòu)緊湊

類型	氣動真空閥	應(yīng)用	一次性使用
安裝方向	直接	端口數(shù)	2 通閥
開關(guān)類型	2 位常閉	管口類型	法蘭
法蘭類型	欽哲基金會	法蘭公稱	40
密封類型	波紋管密封	Sonic Speed Conductance	45 升/秒
引燃港方向	翼緣面,，左側(cè)	溫度范圍（°C）	5 至 60
開關(guān)部件號	無自動切換（帶內(nèi)置磁鐵）	開關(guān)數(shù)量	無開關(guān)
密封材料	FKM 1349-80	泄漏量（Pa·m³/s）	內(nèi)部：1.3 × ^10-10，外部：1.3 × ^10-11
體表處理	外部：硬質(zhì)陽極氧化鋁,，內(nèi)部：基材	密封更換位置	沒有
開關(guān)引線長度（m）	-	加熱器 Yes/No	沒有
RoHS 指令	-	-	-

江崎供應(yīng)日本SMC氣動真空閥XLD-40K-M9

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