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池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
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當(dāng)前位置：池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>控制器>> 新產(chǎn)品ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

參   考   價: ￥ 5444

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號新產(chǎn)品

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-08-27 19:25:53瀏覽次數(shù)：415次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合
序列號 176.0755.4908.
ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

ULVAC愛發(fā)科 水晶振蕩式成膜控制器 CRTM-6000G

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接,，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等,。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率,，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子,。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比,，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%）,，成為同級別最小的產(chǎn)品之一,。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中,，真空計(jì)的使用壽命也很長,。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）,。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

水晶式成膜控制器

CRTM 系列

CRTM-6000G

愛發(fā)科

CRTM-6000G晶體振蕩式成膜控制器,，具有優(yōu)異的膜厚及成膜速度分辨能力,。
尺寸結(jié)構(gòu)，可以對應(yīng)低速率控制和最多99層的多層膜連續(xù)蒸發(fā)控制,。

特點(diǎn)

  • 優(yōu)異的膜厚和成膜速率分辨率,，在成膜速率低時也可以進(jìn)行控制

  • 125 ms的快速采樣率可以很好地控制

  • 可實(shí)現(xiàn)樓層膜厚控制，最高達(dá)到99層

  • 標(biāo)準(zhǔn)配有RS232C通信

  • 最多可連接2個單傳感器（可切換）

  • 配備最少數(shù)字輸入/輸出（各12ch）和模擬輸出（3ch）

目的

  • 蒸發(fā)時的膜厚及速率控制

規(guī)格

膜厚/速率分辨率0.041A（5兆赫）
0.029A（6兆赫）
膜厚顯示范圍/顯示分辨率/td>0.000～99.99μm(0.000～999.9k?)
沉積率顯示范圍/顯示分辨率0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 ?/s)
支持的傳感器頻率5兆赫,、6兆赫
可連接的傳感器數(shù)量單傳感器：2個（不能同時測量,，為開關(guān)型）
多傳感器：1個
采樣率125毫秒
支持多層膜層數(shù)99 層
沉積程序數(shù)量99
數(shù)字輸入/輸出輸入：12通道可編程
輸出：12通道可編程
模擬輸出3通道可編程
外形尺寸 寬×深×高240 毫米 x 350 毫米 x 99 毫米


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