精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀
精品KAKUHUNTER寫真化學(xué)紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀
特征
紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀可測(cè)量電池隔膜等半透明片材,、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度,。這是一款紅外吸收式薄膜測(cè)厚儀,，可用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過程中100%在線檢測(cè)的所有情況。
這是一種紅外薄膜測(cè)厚儀,，采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng),，可通過 100 多個(gè)波長的光譜同時(shí)精確測(cè)量薄膜厚度、密度和成分等多個(gè)參數(shù),。
1
測(cè)量半透明片,、低反射膜、硅等
的厚度,，這是使用光學(xué)干涉測(cè)量法難以做到的,。
3
高速測(cè)量100多個(gè)點(diǎn)同時(shí)采樣
950至1650 nm的近紅外波長
可以實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
可在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和測(cè)量,。
由于不會(huì)旋轉(zhuǎn)干涉濾光片等,，因此具有出色的耐用性和可靠性,。
4
厚度測(cè)量重復(fù)性0.1%以下（3σ）
5
兩種可選的測(cè)量算法
| 測(cè)量算法 | 校準(zhǔn)樣品 | 測(cè)量目標(biāo) |
|---|
| 蘭伯特-比爾法 | 1 種 | 僅厚度 |
| 最小二乘回歸法 | 2種以上 | 多重（厚度、密度,、特定成分的混合量等） |
測(cè)量示例（鋰離子電池隔膜）
可以同時(shí)測(cè)量厚度和涂層重量,。
測(cè)量示例（硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚）
現(xiàn)在可以測(cè)量硅基板上黑色抗蝕劑的厚度，這對(duì)于使用反射光譜的光學(xué)干涉膜厚計(jì)來說是很難做到的,。
作品
