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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級會(huì)員 | 第3年

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今日推薦KAKUHUNTER寫真化學(xué)成像膜厚計(jì)

時(shí)間:2024/11/14閱讀:196
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今日推薦KAKUHUNTER寫真化學(xué)成像膜厚計(jì) 

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這是一種膜厚計(jì),,可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。

由于使用光學(xué)干涉法計(jì)算膜厚,,因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布,。

 

測量顯微鏡視野內(nèi)任何區(qū)域的

膜厚和膜質(zhì)量分布,并以 3D 形式顯示分布

分辨率相當(dāng)于可見光波長干膜測厚儀

波長范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量 

使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算

應(yīng)用實(shí)例

① 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜,、溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu),。

② 使用 EMA(有效介質(zhì)近似)法估算亞微米圖案的密度

③ 局部結(jié)晶度評價(jià)

您可以根據(jù)工作和應(yīng)用選擇物鏡。

  • 我想輕松測量透明多層薄膜每一層的厚度,。

  • 我想自動(dòng)測量多個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度,。

  • 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

  • 我想測量半透明板的厚度,。


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