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三維形狀測(cè)量機(jī)是一種可以測(cè)量亞微米級(jí)表面形狀的儀器。
亞微米是低于微米的級(jí)別,，1微米是1/1,000毫米,。 3D 形狀測(cè)量機(jī)能夠捕捉零件的三維形狀并執(zhí)行各種測(cè)量。
它還用于測(cè)量電子元件板和半導(dǎo)體的表面粗糙度,、高度和厚度,。其特點(diǎn)是速度快,、分辨率高、精度高,。
此外,，根據(jù)安裝方法和測(cè)量方法的不同,，三維形狀測(cè)量機(jī)有多種類(lèi)型,。按安裝方式有固定式、便攜式等,，按測(cè)量方式有接觸式,、非接觸式，有激光跟蹤儀,、測(cè)繪儀等,。
三維形狀測(cè)量機(jī)的應(yīng)用
三維形狀測(cè)量機(jī)的應(yīng)用如下：
1. 線性粗糙度測(cè)量
3D形狀測(cè)量?jī)x可以像觸針式表面粗糙度儀一樣測(cè)量典型的表面粗糙度參數(shù)，例如Ra和Rz,。
2. 表面粗糙度測(cè)量
通過(guò)測(cè)量整個(gè)表面,，3D形狀測(cè)量機(jī)可以高精度地測(cè)量波紋度和表面間的水平差異。具體示例包括墊圈波紋度評(píng)估和塊規(guī)臺(tái)階測(cè)量,。
3. 平面測(cè)量
它用于測(cè)量?jī)牲c(diǎn)之間的距離,、直線、圓心之間的距離以及許多其他平面測(cè)量,。它被用于醫(yī)療設(shè)備,、考古、成型和鐘表行業(yè)等多個(gè)行業(yè),。
