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特點(diǎn)
混合集成電路是將一個(gè)電路中所有元件的功能部分集中在一個(gè)基片上,,能基本上消除電子元件中的輔助部分和各元件間的裝配空隙和焊點(diǎn),因而能提高電子設(shè)備的裝配密度和可靠性,。由于這個(gè)結(jié)構(gòu)特點(diǎn),,混合集成電路可當(dāng)作分布參數(shù)網(wǎng)絡(luò),具有分立元件網(wǎng)路難以達(dá)到的電性能,?;旌霞呻娐返牧硪粋€(gè)特點(diǎn),是改變導(dǎo)體,、半導(dǎo)體和介質(zhì)三種膜的序列,、厚度,、面積、形狀和性質(zhì)以及它們的引出位置得到具有不同性能的無源網(wǎng)路,。
種類
制造混合集成電路常用的成膜技術(shù)有兩種:網(wǎng)印燒結(jié)和真空制膜,。用前一種技術(shù)制造的膜稱為厚膜,其厚度一般在15微米以上,,用后一種技術(shù)制造的膜稱為薄膜,厚度從幾百到幾千埃,。若混合集成電路的無源網(wǎng)路是厚膜網(wǎng)路,,即稱為厚膜混合集成電路;若是薄膜網(wǎng)路,則稱為薄膜混合集成電路,。為了滿足微波電路小型化,、集成化的要求,又有微波混合集成電路,。這種電路按元件參數(shù)的集中和分布情況,,又分為集中參數(shù)和分布參數(shù)微波混合集成電路。集中參數(shù)電路在結(jié)構(gòu)上與一般的厚薄膜混合集成電路相同,,只是在元件尺寸精度上要求較高,。而分布參數(shù)電路則不同,它的無源網(wǎng)路不是由外觀上可分辨的電子元件構(gòu)成,,而是全部由微帶線構(gòu)成,。對(duì)微帶線的尺寸精度要求較高,所以主要用薄膜技術(shù)制造分布參數(shù)微波混合集成電路,。