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真空計的類型
真空計根據(jù)用途,、測量方法,、測量范圍可分為多種類型。
1. 按用途
分壓真空
計 選擇分壓真空計僅測量個別氣體的真空度,。當兩種或多種氣體混合在一起時,，每種氣體所表現(xiàn)出的壓力就是分壓。
它用于分析真空質(zhì)量,，因為即使在相同壓力下,，性能也會根據(jù)氣體類型而有所不同。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計,。
質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源,、分析部分和檢測部分。通過使用電場和磁場,，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力,。
當您想簡單地測量空間的真空度時，請選擇全壓真空計,。根據(jù)測量方法的不同,，有多種類型，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型,。
2.測量方法
測量方法主要分為三種類型,。這些是“檢測壓力本身的方法"、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法"和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法",。
本身檢測壓力的方法
U型管真空計是利用壓力本身檢測的真空計,。U型真空計是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成,。
氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取,。U型真空計的dute之處在于它不屬于氣體類型。因此,，它被用作其他真空計的校準標準,，因為它允許絕對測量壓力。
利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計,。這是利用氣體的熱導率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計,。
熱傳導真空計有多種類型，包括皮拉尼真空計,、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計,。關于熱傳導真空計需要注意的重要一點是，在高真空下,，熱輻射的影響變得大于熱傳導的影響,。因此，熱導真空計的缺點是不能用于高真空測量,。
利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法利用
氣體中的 電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計(冷陰極電離真空計)和離子計(熱陰極電離真空計),。彭寧真空計可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性,，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異,。
潘寧真空計的優(yōu)點是電路配置簡單。另一方面,，其缺點是潘寧放電不穩(wěn)定,，難以高精度測量。此外,，如果表面污染嚴重,，則從陰極發(fā)射的電子量會減少，導致無法放電,，并且如果陰極處于高真空中,，則可能難以開始放電,。
3、測量范圍
壓力分為低真空,、中真空,、高真空、超高真空等真空度,，根據(jù)真空計的類型不同,，測量真空度也不同。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標準）,，真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類,。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空，電離真空計可以測量中真空到超高真空,。
低真空：10 5 Pa～10 2 Pa
中真空：10 2 Pa～10 -1 Pa
高真空：10 -1 Pa～10 -5 Pa
超高真空：-5 Pa至1 0-8 Pa
jigao真空：10 -8 Pa以下
