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什么是真空計？
真空計是測量一定空間內(nèi)真空度的傳感器,。
根據(jù)用途,，選擇分壓真空計或全壓真空計,。此外，測量方法有多種,，可測量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化,。
真空計的應(yīng)用實例
真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所，因為可以zui大程度地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì),。其中,，真空計安裝在與需要真空達(dá)到控制的室和石英管連接的流體回路中。
真空計通常安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及冶金,、有機(jī)合成等實驗設(shè)備中,。它還用于需要表面清潔度的場合，例如離子束設(shè)備,、氣相沉積設(shè)備以及其他需要表面清潔度的應(yīng)用,。
真空計原理
真空計的類型和測量原理有很多種。真空計成功測量少量氣體分子的動量,，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度,。zui流行的真空計類型是皮拉尼真空計。
皮拉尼真空計是一種電阻式真空計,，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時損失的熱能計算出電流,，然后根據(jù)該值計算出壓力。其機(jī)制是,，這一微小壓力直接對應(yīng)于真空度,。
