目錄:北京凱瑞永科技有限公司>>蔡司顯微鏡>>蔡司半導(dǎo)體專用顯微鏡>> Axio Imager Vario半導(dǎo)體專用顯微鏡
參考價(jià) | 面議 |
參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間:2025-02-12 14:01:48瀏覽次數(shù):1449評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
---|
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,,甚至整個(gè)平板顯示器,,檢測(cè)期間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。AxioImagerVario支持的最大樣品高度為254mm,,最大橫向樣品空間為300mm,,大大拓展了可以測(cè)試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性,??蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置,。
潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測(cè)需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行,。根據(jù)DINENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn),以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí),。AxioImagerVario已通過(guò)此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,,并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。ISO5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FEDSTD209E(1992)的100級(jí),。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤,、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。
半導(dǎo)體專用顯微鏡優(yōu)勢(shì):
1,、具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,,充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300mmx300mm和最大樣品高度254mm的優(yōu)勢(shì)。
2,、AxioImagerVario能通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品,。這意味著即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性,。
3,、半導(dǎo)體專用顯微鏡借助硬件自動(dòng)對(duì)焦功能,可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品,。
4,、將AxioImagerVario與LSM900結(jié)合使用,能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品,。
5,、AxioImagerVario已通過(guò)DINENISO14644-1認(rèn)證,,并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求,。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)