LED顯微曝光系統(tǒng)

介紹：

1)顯微鏡 LED曝光系統(tǒng) UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設(shè)備,。

2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機(jī),，即可在涂布光阻的基板上進(jìn)行數(shù)個(gè)微米 分辨率的曝光。

3)Pattern 形狀可以使用計(jì)算機(jī)繪圖自由制作,。

4)可在一般環(huán)境操作,，樣品外觀及尺寸限制小，價(jià)格比一般電子束曝光機(jī)更便宜,、方便性更高,，可以降低研發(fā)成本。

LED顯微曝光系統(tǒng)

使用案例：

√形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測(cè)用試料之電極,。

√Mo 原石取出薄片,，形成原石特性評(píng)估的電極。

特色：

1,、使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統(tǒng),，可比既有系統(tǒng)擁有更具性價(jià)比。

2,、軟件操作簡(jiǎn)便,，可以自由繪制曝光Pattern。

3,、透過(guò)物鏡倍率選擇,，調(diào)整曝光范圍大小與分辨率。

4,、可以制造微米等級(jí)尺寸的 Pattern ,。