目錄:杭州域勢科技有限公司>>瑞士VAT徽拓真空閥門>>壓力控制蝶閥>> 61.3系列VAT 61.3壓力控制蝶閥
| 應用領域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
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VAT 61.3壓力控制蝶閥
VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現(xiàn)出色的壓力控制,；憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒）,，61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節(jié)流元件,，改變閥門開度的流導特性,。61.3 系列壓力控制蝶閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現(xiàn)設定壓力,。該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計,。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持精確正常運行,。
61.3 系列控制閥已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,，證明了其穩(wěn)定的可靠性。憑借堅固的設計,、直接安裝選項,，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列控制閥在各個方面都令人信服,。
閥體材料,、表面處理、彈性體,、法蘭連接,、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成,。
61.3 蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成,，標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶定制法蘭和特殊功能,，如集成式絕緣加熱器,。可根據(jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標準選項）,。
61.3壓力控制蝶閥的主要特點:
穩(wěn)定的壓力控制
運行非?？?/p>
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現(xiàn)可靠運行
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
61.3系列壓力控制蝶閥尺寸圖：
61.3系列壓力控制蝶閥技術參數(shù)：
尺寸 | DN 25 (1’’) DN 40 (1?’’), DN 50 (2’’), | ||
驅(qū)動器 | 帶步進電機的集成控制器,，面向現(xiàn)場的控制 (foc) | ||
閥體材料 | 鋁或不銹鋼 | ||
標準法蘭 | ISO-KF, ISO-F | ||
泄漏率 | 鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
不銹鋼 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar | ||
維護前開關次數(shù) | 壓力控制 | 兩百萬 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 150 °C | |
材材 | 閥體,、閥板 | 鋁 | EN AW-6082 (3.2315) |
軸 | AISI 316L (1.4404 或 1.4435) | ||
密封 | 饋通件 | FKM (其他按要求) | |
饋通件 | 旋轉(zhuǎn)軸，直接驅(qū)動 | ||
安裝位置 | 任何（建議安裝在真空泵的一側(cè)） |
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