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日立掃描電子顯微鏡

SU8600

高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

*設(shè)備照片包含選配項(xiàng),。

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像,、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。

特點(diǎn)

*高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像,。

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;

在低加速電壓條件下，背散射電子信號(hào)能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別,。

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測(cè)器,，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.

自動(dòng)化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程,。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置,、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等,。用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序,。經(jīng)過(guò)調(diào)試和確認(rèn)后,，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù),。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器,，提供靈活、高效的操作空間,。6通道同時(shí)顯示與保存,，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。

日立掃描電子顯微鏡

技術(shù)參數(shù)

機(jī)型		SU8600 系列
電子光學(xué)系統(tǒng)	二次電子像分辨率	0.6 nm@15 kV
	二次電子像分辨率	0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	電子槍	冷場(chǎng)發(fā)射電子源,，支持柔性閃爍功能,，包含陽(yáng)極烘烤系統(tǒng),。
	加速電壓	0.5 to 30 kV
	著陸電壓 *	0.01 to 20 kV
探測(cè)器	（部分為選配項(xiàng)）	上探測(cè)器(UD)
		UD ExB能量過(guò)濾器，包含SE/BSE信號(hào)混合功能
		下探測(cè)器(LD)
		頂探測(cè)器(TD)
		TD能量過(guò)濾器
		鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD)
		半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED)
		新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD)
		陰極熒光探測(cè)器(CLD)
		掃描透射探測(cè)器(STEM Detector)
附件	（部分為選配項(xiàng)）	導(dǎo)航相機(jī),、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS),、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD)
軟件	（部分為選配項(xiàng)）	EM Flow Creater,、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下）
樣品臺(tái)	馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（X/Y/R/Z/T）
	馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70°
		R：360°
樣品室	樣品尺寸	直徑可達(dá)：150 mm