低溫磁控濺射儀特點(diǎn)

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺(jué)體驗(yàn),，方便觀(guān)察操作,；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀(guān)耐用,；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

4.真空泵抽速快,，噪音低,，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板,，工作穩(wěn)定可靠,；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便,；

7.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠,，布局合理，維修操作空間大,；

8.自動(dòng)真空的進(jìn)排氣,，關(guān)機(jī)自動(dòng)放棄（標(biāo)準(zhǔn)版手動(dòng)放氣）；

9.優(yōu)化機(jī)型外觀(guān),，整潔大方,，體積靈巧；

10.數(shù)字方式定時(shí)，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié),；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭,；

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，更換樣品方便快捷,；

13.采用定制“凹"密封,，更加方便操作；

14.增大樣品處理室空間,，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體,；

15.定制型真空泵排氣過(guò)濾器；

16.獨(dú)立式升降樣品臺(tái)組件（標(biāo)準(zhǔn)為2支柱緊固型）,。

低溫磁控濺射儀參數(shù)

●石英處理室：Φ150mm,高度110mm,；

●濺射類(lèi)型：冷陰極磁控型二級(jí)濺射；

●樣臺(tái)尺寸：150mm,樣品臺(tái)插孔61個(gè)可選,；

●可升降和手動(dòng)旋轉(zhuǎn),；

●樣品更換：升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，上蓋打開(kāi)可獨(dú)立支撐,；

●靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）,；

●真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S；

●真空檢測(cè)：定制皮氏計(jì),，配合真空指針表,，靈敏可靠；

●真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,；

●真空泄壓：自動(dòng)進(jìn)排氣（無(wú)需手動(dòng)放氣閥）,。