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天津泰諾科學(xué)技術(shù)有限公司
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低溫磁控濺射儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地天津市

更新時(shí)間:2024-12-24 14:11:33瀏覽次數(shù):694次

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低溫磁控濺射儀,,自動(dòng)磁控低溫離子濺射鍍膜儀適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜,、鉑金,、銀、鎳,、銅等),,儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合各類(lèi)型掃描電子顯微鏡制樣的儀器,。是制備低維度,,小尺寸納米材料器件的實(shí)驗(yàn)手段,廣泛應(yīng)用于集成電路,,光子晶體,,低維半導(dǎo)體、微生物,、超微膜材料等領(lǐng)域,。

低溫磁控濺射儀特點(diǎn)

1.顯示操作面為30°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺(jué)體驗(yàn),,方便觀(guān)察操作,;

2.真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀(guān)耐用,;

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,,帶有刻度標(biāo)識(shí);

4.真空泵抽速快,,噪音低,,適合實(shí)驗(yàn)室使用;

5.控制電路為控制板,,工作穩(wěn)定可靠,;

6.顯示控制操作部分布局合理,使用方便,;

7.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠,,布局合理,維修操作空間大,;

8.自動(dòng)真空的進(jìn)排氣,,關(guān)機(jī)自動(dòng)放棄(標(biāo)準(zhǔn)版手動(dòng)放氣);

9.優(yōu)化機(jī)型外觀(guān),,整潔大方,,體積靈巧;

10.數(shù)字方式定時(shí),0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié),;

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭,;

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu),更換樣品方便快捷,;

13.采用定制“凹"密封,,更加方便操作;

14.增大樣品處理室空間,,φ150X110高硬度耐高溫石英晶體,;

15.定制型真空泵排氣過(guò)濾器;

16.獨(dú)立式升降樣品臺(tái)組件(標(biāo)準(zhǔn)為2支柱緊固型),。

低溫磁控濺射儀參數(shù)

●石英處理室:Φ150mm,高度110mm,;

●濺射類(lèi)型:冷陰極磁控型二級(jí)濺射;

●樣臺(tái)尺寸:150mm,樣品臺(tái)插孔61個(gè)可選,;

●可升降和手動(dòng)旋轉(zhuǎn),;

●樣品更換:升降式上翻蓋結(jié)構(gòu),上蓋打開(kāi)可獨(dú)立支撐,;

●靶材尺寸:Φ50(可選配定制高效率靶材),;

●真空系統(tǒng):型渦旋真空泵2L/S;

●真空檢測(cè):定制皮氏計(jì),,配合真空指針表,,靈敏可靠;

●真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,;

●真空泄壓:自動(dòng)進(jìn)排氣(無(wú)需手動(dòng)放氣閥),。



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