低溫磁控濺射儀特點

1.顯示操作面為30°斜面,，充分考慮操作的便捷和視覺體驗,，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管,，美觀耐用,；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準確，帶有刻度標識,；

4.真空泵抽速快,，噪音低，適合實驗室使用,；

5.控制電路為控制板,，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理,，使用方便,；

7.結(jié)構(gòu)簡單可靠，布局合理,，維修操作空間大,；

8.自動真空的進排氣，關(guān)機自動放棄（標準版手動放氣）,；

9.優(yōu)化機型外觀,，整潔大方,，體積靈巧；

10.數(shù)字方式定時,，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié),；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu),，更換樣品方便快捷,；

13.采用定制“凹"密封，更加方便操作,；

14.增大樣品處理室空間,，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；

15.定制型真空泵排氣過濾器,；

16.獨立式升降樣品臺組件（標準為2支柱緊固型）,。

低溫磁控濺射儀參數(shù)

●石英處理室：Φ150mm,高度110mm；

●濺射類型：冷陰極磁控型二級濺射,；

●樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選,；

●可升降和手動旋轉(zhuǎn)；

●樣品更換：升降式上翻蓋結(jié)構(gòu),，上蓋打開可獨立支撐,；

●靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）；

●真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S,；

●真空檢測：定制皮氏計,，配合真空指針表，靈敏可靠,；

●真空保護：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空,；

●真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）。