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　　為了使電子顯微鏡中的樣品能夠成像，它們需要有導電性,，通過在樣品上形成導電層的鍍膜,，用來抑制電荷，減少熱損傷,，并提高在SEM中定位檢查所需的二次電子信號,。

　　磁控濺射儀的測試原理：在封閉腔室中，放置陽極靶材,，充入氣體,，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓,，會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象,。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材,。靶材原子會因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內沉積,，最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層,。這個鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷,，提高二次電子產率,，從而改善掃描電鏡觀察效果。

　　平時使用時,，最常見靶材的是金靶,。正是這個原因，離子濺射儀也俗稱“噴金儀",。然而,，為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層,，有時候也會使用其他靶材（比如鉻,、鉑金、銅）。

　　產品概覽

　　磁控濺射儀的產品特點

　　樣品腔尺寸：圓柱形,，直徑150mmx高度120mm,；

　　樣品腔真空度：極限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa,，恒壓控制,；

　　樣品臺：可以裝載樣品8-15個，高度可調范圍為40mm,；

　　靶材：Au靶為標配,，Pt，Cu（選件）規(guī)格：直徑57mmx0.1mm厚,；

　　濺射電流：微處理器控制,，安全互鎖，可調,，最大電流200mA,，程序化數(shù)字控制；

　　濺射頭：低電壓平面磁控管,，靶材更換快速,，環(huán)繞暗區(qū)護罩；

　　真空計：皮拉尼真空計,，測量范圍：0.01Pa-常壓,；

　　真空泵：雙級直連式高速真空泵，抽速：66L/min,，真空度：10-2Pa,；

　　厚度監(jiān)控：使用高分辨厚度監(jiān)控儀，精確測定所鍍膜的厚度,；（選配）

　　操作方式：觸摸屏控制,，手動和自動模式可選，操作簡便,；

　　機箱設計：長寬高40*35*50cm,，堅固防腐蝕的箱體，帶有電源,、電壓,、電流、真空度等顯示,。