半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,,主要由熱交換器,、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備,。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度,。
半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備特點(diǎn):
變頻控制,,智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
普泰克(proteco)制冷設(shè)備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域,、機(jī)械設(shè)計,、軟件自控的專業(yè)人才,依托于浙江大學(xué)制冷研究院的技術(shù)團(tuán)隊支持,,致力于高低溫設(shè)備的研究,、開發(fā)、制造,、銷售,。
我司借鑒歐美技術(shù),以模塊化部件為平臺,衍生出多款高低溫設(shè)備產(chǎn)品,,提出:“個性化溫度控制解決方案"的理念,!嚴(yán)格按照客戶要求進(jìn)行規(guī)劃和制造,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā),、新能源汽車,、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè),、航空航天,、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè),。