PTHC系列低溫液冷機(jī)應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)（晶圓測(cè)試載物臺(tái)）chuck的加熱制冷控溫,，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,，液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng),、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng),、箱體等組成,。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù),，高清觸摸屏顯示,，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行,。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻,，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件,。
設(shè)備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤(pán)面控制溫度：-60℃
溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機(jī)
參數(shù)看清楚
型號(hào)
設(shè)備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質(zhì)溫度范圍
溫度精度
溫度穩(wěn)定性
溫度反饋
控溫對(duì)象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲(chǔ)功能
冷凝方式
安全防護(hù)
液冷制冷機(jī)
PTHC系列低溫液冷機(jī)
雙級(jí)復(fù)疊制冷
7英寸彩色觸摸屏,，中文顯示，操作簡(jiǎn)便 ,、顯示直觀,， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測(cè)試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質(zhì)：SUS304,，采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 ,、 出口溫度) ，控晶圓測(cè)試chuck盤(pán)溫度
設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議,、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測(cè)溫傳感器端口 ,、USB數(shù)據(jù)接口
試驗(yàn)執(zhí)行時(shí)， 可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線,， 顯示內(nèi)容,；溫度設(shè)定實(shí)際值，執(zhí) 行程序周期,，程序執(zhí)行中具有跳文件,，保持功能,。
風(fēng)冷
設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障信息自動(dòng)診斷,， 多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)： 電源故 障 ,，壓縮機(jī)過(guò)載 、循環(huán)泵熱過(guò)載 ,、制冷低壓報(bào)警 ,、 制冷高壓報(bào)警 、超 溫 ,、溫度模塊故障 ,、 電加熱防干燒設(shè)計(jì)等保護(hù)功能。
化工儀器網(wǎng)