一,、設備簡介
PTLQ系列氣體制冷機 芯片低溫測試 激光設備產品用于氣體的降溫與冷卻,，也可選擇進行升溫與恒溫控制氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氟氣等惰性氣體,。進氣溫度可以是常溫的,，也可以是高溫的,經過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應用來說,，氣體制冷機相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢,如使用方便,、安全衛(wèi)生、成本低無異味等,?？蛻艨筛鶕怏w處理流量及溫度來選擇設備。
典型應用領域:
晶圓測試載冷臺提供低溫氣體
芯片低溫測試
激光設備局部區(qū)域降溫
液晶觸摸屏低溫冷凍脫膠
材料性能測試
熱沉實驗溫度控制
結品系統(tǒng)控溫
二,、氣體制冷機 芯片低溫測試 激光設備產品特點
1,、-135C~+225"C可以滿足不同溫度的需求可非標定制;
2、可選配精確控溫形式,控溫精度最高可達±0.1C;
3,、采用高效換熱器,，降溫速度快,常溫至-80C最快只需5分鐘;
4、可選配冷量回收裝置,，提升能效,，避免低溫冷凝水;
5、允許非標控制程序定制;
6,、可選配進氣流量自動控制與檢測;
7,、運行狀態(tài)實時顯示，故障信息自動診斷，多項報警保護功能;
8,、自適應PID控制算法,，無需改變參數，即可實現(xiàn)最佳的溫度控制;
9,、完善的安全保護措施,設置有多種安全保護機制以確保系統(tǒng)的安全運行;
10,、質量保障。
三,、工作原理圖
四,、型號說明
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