半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器,、循環(huán)泵,、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術(shù)和自適應控制技術(shù),,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度,。
半導體器件高低溫測試設備特點:
變頻控制,,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
普泰克(proteco)制冷設備技術(shù)集合了多位生物制藥領域,、機械設計,、軟件自控的專業(yè)人才,依托于浙江大學制冷研究院的技術(shù)團隊支持,,致力于高低溫設備的研究,、開發(fā)、制造,、銷售,。
我司借鑒歐美技術(shù),以模塊化部件為平臺,,衍生出多款高低溫設備產(chǎn)品,,提出:“個性化溫度控制解決方案"的理念!嚴格按照客戶要求進行規(guī)劃和制造,,產(chǎn)品廣泛應用于國內(nèi)外科學研究和工藝開發(fā),、新能源汽車、生物技術(shù),、醫(yī)藥行業(yè),、航空航天、半導體,、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè),。