風(fēng)冷型冷水機(jī)

PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻,，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)?、氬氣等惰性氣體,。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的,，經(jīng)過(guò)氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫,。針對(duì)于晶圓測(cè)試載冷臺(tái)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢(shì)，如使用方便,、安全衛(wèi)生,、成本低、無(wú)異味等,?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來(lái)選擇設(shè)備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng),、換熱系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、箱體等組成,。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷,，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用品牌。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器,、連接管路,、保溫等組成?？刂葡到y(tǒng)采用西門子PLC,，自適應(yīng)PID控制算法，面對(duì)不同的使用環(huán)境和負(fù)載,，無(wú)需改變參數(shù),，即可實(shí)現(xiàn)最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示,，完善的安全保護(hù)措施,，設(shè)置有多種安全保護(hù)機(jī)制以確保系統(tǒng)的安全運(yùn)行?？刂破魑锫?lián)網(wǎng),，可在手機(jī)APP上進(jìn)行遠(yuǎn)程查看數(shù)據(jù)、報(bào)警信息和遠(yuǎn)程操控,；可選配冷量回收裝置,，提升能效，避免低溫冷凝水,，通過(guò)機(jī)組自身的制冷,，將進(jìn)入裝置內(nèi)的干燥氣體進(jìn)行降溫及恒溫處理，滿足工藝條件要求,。

快速降溫：自主設(shè)計(jì)的高效換熱系統(tǒng),，常溫的干燥壓縮空氣或者氮?dú)馔ㄈ氲?/span>PTLQ氣體制冷機(jī)后，出來(lái)的氣體即可達(dá)到目標(biāo)低溫溫度,。

一體式結(jié)構(gòu)：在工廠已將系統(tǒng)整體組裝完畢,，用戶只需要將電源,、氣體管路、冷卻水管路安裝完畢即可開(kāi)機(jī)運(yùn)行,。

防爆設(shè)計(jì)：可根據(jù)客戶實(shí)際使用需求,，定制各種類型的防爆設(shè)計(jì)。

高效換熱系統(tǒng)：蒸發(fā)器采用板式換熱器部分產(chǎn)品可能會(huì)采用翅片管式換熱器,，換熱效率高,，結(jié)構(gòu)緊湊，耐壓高,，承壓能力大于2.5MPa,。

控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果,，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性,。

控溫系統(tǒng)：自主開(kāi)發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法,，能夠盡快的響應(yīng)過(guò)程中系統(tǒng)的滯后,，得到最小的溫度過(guò)沖?？刂朴蓛山MPID（每組PID是可變的）控制回路構(gòu)成,，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值,。系統(tǒng)采用帶有前饋PV,，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值,，通過(guò)這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制,，保證系統(tǒng)的溫度精度。

質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,，確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行,。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn)，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題,。

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