目錄:蘇州華維納納米科技有限公司>>LDW-P納米激光直寫系統(tǒng)>> HWN-P1500納米激光直寫系統(tǒng)
應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣,綜合 | 激光波長 | 405nm |
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特征尺寸 | 100nm | 激光功率 | 120mW至300mW(可選) |
刻寫范圍 | 1500umx1500um |
HWN-P1500納米激光直寫系統(tǒng)?是專門為科研團隊和加工平臺設計的小范圍多功能光刻系統(tǒng),根據(jù)壓電平臺的移動范圍,,分為P100,、P200、P500,、P1000,、P1500等不同型號,具有結(jié)構(gòu)緊湊,、操作方便,、維護簡單、加工分辨率高,、支持多種受體材料等特征,,能廣泛適用于各種微納結(jié)構(gòu)及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產(chǎn),。該系列產(chǎn)品還可根據(jù)用戶特殊需求,,提供定制設計和制造。
新概念技術(shù):華維納HWN-P1500納米激光直寫系統(tǒng)通過激光與材料的非線性相互作用,,成功突破了光學衍射極限的限制,,實現(xiàn)了納米尺度的加工分辨力,最小的孔洞直徑可達50nm,。
多受體材料:華維納LDW-P系列通過高精度的功率調(diào)制(<1‰),可兼容包括金屬薄膜,、無機相變材料,、光刻膠等多種受體材料。
可靠易用性:華維納HWN-P擁有強大的軟件功能,,支持標量刻寫,、矢量刻寫等多種刻寫模式,供用戶根據(jù)不同的刻寫場景而選擇,。另外,,LDW-P系列還支持樣品刻寫后的在線分析,使用戶一站式完成設計,、刻寫,、分析等步驟,, 大大提高了工作效率。