傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡,，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀,，無需靶鏡,，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量,。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外,，還可適合于微、小,、輕,、薄,、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量,，如液面高度,、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移,、材料膨脹系數(shù),、振動等。     

      以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點(diǎn)：

      1,、高靈敏度,，可實(shí)現(xiàn)對非配合目標(biāo)的非接觸式測量
      2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移,，儀器具有較小的零漂,。
      3、具有較高的分辨率和較大量程,，測量結(jié)果可以溯源,。
     鐳測科技非接觸式激光干涉儀LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級，量程可達(dá)2m,，如果加擴(kuò)束鏡,，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣,，測量結(jié)果可以溯源到光波長,，從而無需標(biāo)定。產(chǎn)品由激光測頭,、信號處理電箱和軟件組成,。

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