目錄:山東優(yōu)云譜光電科技有限公司>>環(huán)境保護儀器>>配氣儀>> YP-PQY氣體動態(tài)稀釋儀
產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產業(yè),制藥/生物制藥,綜合 |
一,、氣體動態(tài)稀釋儀特點
高精度、高分辨率控制
低功率(功率大小取決于配氣路數)
各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎氣體種類按比例混合)
數字化控制,,RS-485 Modbus RTU 通信模式
寬流量量程范圍
無需預熱
無安裝方向限制
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥,,使用壽命長,響應速度快
自帶溫度補償,,補償范圍 0-50℃
內部閉環(huán)控制,,具有高穩(wěn)定性
小封裝尺寸
二、量程及精度簡介
稀釋比:最高 1000:1(更高稀釋比建議咨詢廠家)
各路 MFC 滿量程精度:±0.2%
各路 MFC 讀取精度:±0.8%
各路 MFC 可重復性:±0.2%FS
各路 MFC 響應時間:<100ms(調節(jié) PID控制參數可縮短響應時間),,數字式設計簡介
動態(tài)稀釋儀內部配置了高精度質 量流量控制器(MFC),,各路 MFC 標配高精度傳
感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能,。質量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式,。
三,、氣體動態(tài)稀釋儀應用領域
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環(huán)境監(jiān)測設備
微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)
氣體發(fā)生器
配氣混氣系
四、功能介紹
流量控制 ---可實現高精度,、高重復性,、多種氣體質量流量控制。
獨立使用 ---無需連接任何設備,,可通過屏幕完成大部分功能操作,。
多種量程選擇 ---根據稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm,最大量程 50slpm 可選,。
內置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內置 20 種基本氣體,,氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據使用需求,,自定義混合氣,。
電氣接口 ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信與內部 MFC 進行通信。
標準 Modbus-RTU ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協議,。