賽默飛(原FEI)Apreo場發(fā)射掃描電子顯微鏡
功能豐富的高性能 SEM
Apreo 復(fù)合透鏡結(jié)合了靜電和磁浸沒技術(shù),可產(chǎn)生高分辨率和材料對比度,。
賽默飛(原FEI)Apreo場發(fā)射掃描電子顯微鏡是研究納米顆粒,、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺,,而不會降低磁性樣品性能,。傳統(tǒng)的高分辨率 SEM 透鏡技術(shù)分為兩類:磁浸沒或靜電,。FEI 將兩種技術(shù)結(jié)合到一個儀器中。這樣做所產(chǎn)生的成效遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過任一種鏡筒的個體性能,。兩種技術(shù)均使電子束形成細(xì)小探針,,以提高低電壓下的分辨率,,并使信號電子進入鏡筒,。通過將磁透鏡和靜電透鏡組合成一個復(fù)合透鏡,不但提高了分辨率,,還增加了*的信號過濾選項,。靜電-磁復(fù)合末級透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm(無電子束減速或單色器)。
Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1,,其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號,,從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同,,這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度,,在導(dǎo)航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外,。在敏感樣品上,,探測器的價值凸現(xiàn)出來,即使電流低至幾 pA,,它也能提供清晰的背散射圖像,。復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準(zhǔn)確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像,進一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值,。它還提供了流行選項來補充其探測能力,,例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD),。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能,,以便根據(jù)需求選擇最有價值的樣品信息。
每個 Apreo 都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略,,包括:高真空技術(shù),,例如 SmartSCAN™、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過濾,。對于最有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用,,Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空(最高為 500 Pa)策略,,通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機構(gòu)和專用低真空探測器,,不但可以緩解任何樣品上的電荷,還能提供的分辨率和較大的分析電流,。
隨著分析技術(shù)的使用越來越常規(guī)化,,Apreo 倉室經(jīng)過全新設(shè)計,以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室最多容納三個 EDS/WDS 端口,,可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量,、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與(冷凍)CL、拉曼,、EBIC 和其他技術(shù)兼容,。
所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得,節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間,??勺远x的用戶界面提供了諸多用戶指導(dǎo)、自動化和遠(yuǎn)程操作選項,。