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FETS-2000是一款擴展靈活的鐵電綜合測試系統(tǒng) TSDC/TSC測試,，既可以測試電滯回線計算儲能密度,，并具有測試熱刺激電流TSDC/TSC的功能?？蓮V泛地應用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜,、厚膜、體材料和電子陶瓷,、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲器等領(lǐng)域的研究,。

鐵電參數(shù)測試主要性能指標：

a. 外接5 kV高壓放大器（可擴展至10 kV）（國產(chǎn)、進口均適用）,；

b. 動態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz,；

c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴展）,；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負載電容1 nF）,；

e. TSDC/TSC電流測量范圍 1 pA ～ 1uA（可擴展）,，分辨率10 fA；

f. 配有高壓擊穿保護模塊,；

g.溫度范圍：-160℃～260℃,。

本測試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器,、變溫綜合測試平臺（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺（配高壓探針）,、計算機及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器,、內(nèi)置驅(qū)動電壓,、電荷積分器、可編程放大器,、模數(shù)轉(zhuǎn)換器,、通訊總線等功能，主控器提供擴展外置高壓放大器接口,，可擴展±5 kV或±10 kV的高壓放大器,。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測試時,，無需改變測試樣品的連接,，即可實現(xiàn)滯回，脈沖,，漏電,，IV等性能測試。

本測試系統(tǒng)鐵電性能測試采用改進的Sawyer- Tower測量方法,，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比,，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響,。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度,，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)，容易定標和校準,，并且能實現(xiàn)較高的測量準確度,。

鐵電綜合測試系統(tǒng) TSDC/TSC測試采用模塊化設計，不同的模塊對應不同的電特性測量,。主要功能有：

動態(tài)電滯回線DHM

靜態(tài)電滯回線SHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

電擊穿強度BDM

高壓漏電流測試LM

TSDC/TSC測試

電流-偏壓

保持力RM

印跡印痕IM

變溫測試THM,。