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| 整體位移精度 | 3um |
|---|
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
TLPH系列精密型光電測試探針臺是基于TLRH系列升級激光顯微鏡而來,，實(shí)現(xiàn)高分辨率成像的同時兼顧外引激光光路，實(shí)現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測,，是光電芯片/器件測試的理想之選,。
技術(shù)優(yōu)勢
.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試,；
. 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試;
.探針臺整體位移精度高達(dá)3um,，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)；
. 激光顯微鏡,，5檔物鏡轉(zhuǎn)盤,，可引入激光完成光電流測試；
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,，線性移動,，無回程差設(shè)計(jì);
. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座,；
. 配顯微鏡三維精密調(diào)節(jié)功能,，且可選配多種行程及驅(qū)動方式。
模塊介紹
通用參數(shù)
常規(guī)選型
相關(guān)配件
多種精度,，多種夾具類型探針座
同軸線纜,，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學(xué)測試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試,、MEMS測試,、PCB測試、液晶面板測試,、測量表面電阻率測試,、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實(shí)驗(yàn)等,。
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,，定制配套精密型光電測試探針臺，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價比,，具體信息可聯(lián)系詳詢,。
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