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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化,。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差,，是材料學、芯片,、半導體器件等方向?qū)嶒灧治龅睦硐脒x擇,。
技術優(yōu)勢
· 控溫范圍可達-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)）；
· 控溫精度可達±1℃,，顯示精度1℃,，溫度均勻性±3℃;
· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組,；
· 探針位移重復定位精度2μm,，分辨率3μm，單軸直線度±2μm,；
· 三同軸探針夾具,，漏電精度100fA，陶瓷結(jié)構(gòu);
· 樣品臺多個尺寸可選,，常規(guī)有4/6/8/12英寸,。
通用參數(shù)
選型表
相關配件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜,，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學測試夾具
電磁屏蔽箱
應用領域
半導體材料光電檢測,，功率器件測試，MEMS測試,，PCB測試,，液晶面板測試，測量表面電阻率測試,，精密儀器生產(chǎn)檢測,，航空航天實驗室,。
譜量光電可以根據(jù)客戶實際應用需求，定制配套高低溫真空探針臺系統(tǒng),，以達到更好的測試效果及更高的性價比,，具體信息可聯(lián)系詳詢
