整體位移精度 | 10um | 背電極 | 可以引出背電極 |
---|---|---|---|
樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 | 漏電精度 | 10pA |
顯微鏡放大倍數(shù) | 7-200倍 | CCD相機(jī) | 2000W |
顯示器 | HDMI高清顯示器22寸 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高校科研及產(chǎn)業(yè)研發(fā)需要,,而開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的一款高性?xún)r(jià)比探針臺(tái)系統(tǒng),,其功能齊全,滿足常規(guī)IV電學(xué)測(cè)試需要,,廣泛應(yīng)用于芯片、半導(dǎo)體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
. 結(jié)構(gòu)緊湊,,功能實(shí)用,,高性?xún)r(jià)比;
. 最大可用于12寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試;
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡,,可360°旋轉(zhuǎn)及微調(diào)升降;
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi));
. 精密絲桿/燕尾傳動(dòng)機(jī)構(gòu),,線性移動(dòng),無(wú)回程差設(shè)計(jì);
. 模塊化設(shè)計(jì),可據(jù)應(yīng)用需要增減相應(yīng)模塊,,性?xún)r(jià)比高。
模塊介紹
通用參數(shù)
產(chǎn)品示意圖
選型表
相關(guān)附件
多種精度,,多種夾具類(lèi)型探針座
同軸線纜,,三同軸線纜
各種類(lèi)型探針
真空泵
電學(xué)測(cè)試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè),、功率器件測(cè)試,、MEMS測(cè)試,、PCB測(cè)試,、液晶面板測(cè)試,、測(cè)量表面電阻率測(cè)試,、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái),,以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性?xún)r(jià)比,,具體信息可聯(lián)系詳詢(xún),。