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| 樣品臺(tái)尺寸 | 4英寸,、6 英寸,、8 英寸,、12 英寸 | 樣品臺(tái)行程 | XY軸110mm，Z軸10mm,，360°粗調(diào),，±5°精調(diào) |
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)位移精度 | 3μm | 背電極測(cè)試功能 | 可引背電極 |
| 樣品臺(tái)真空吸附 | 進(jìn)口無油真空泵，7L/min | 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 |
| 樣品臺(tái)定制化 | 可定制（尺寸/材質(zhì)/鍍金/背光） | 探針座行程 | XYZ三軸13mm |
| 探針座調(diào)節(jié)精度 | 3μm | 探針座固定方式 | 可調(diào)磁力吸附（可選配真空吸附,，螺絲固定） |
| 接口形式 | 香蕉插頭,、鱷魚夾、BNC、SMA,、N同軸接口/三同軸接口 | 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡（可升級(jí)金相顯微鏡） |
| 放大倍數(shù) | ~200倍（最大可升級(jí)到~1000倍） | CCD | 2000W高清彩色相機(jī) |
| 顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm,，分辨率3μm | 探針座數(shù)量 | 標(biāo)配 3 個(gè) |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái),，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè),。適用于對(duì)材料,、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途,。
TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制,，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選,。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
● 模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試,；
● 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試,；
● 探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié),；
● 兼容多種光學(xué)顯微鏡,，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試；
● 滿足1μm以上電極/PAD使用,；
● 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）,；
● 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng),，無回程差設(shè)計(jì),；
● 加寬探針放置架，可放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座,；
● 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式,。
細(xì)節(jié)展示：
詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說明：
常規(guī)選型：
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟：
光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm),、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等,。
測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表,，探針接被測(cè)物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面,，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件,，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)功率器件測(cè)試MEMS測(cè)試PCB測(cè)試液晶面板測(cè)試測(cè)量表面電阻率測(cè)試精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)航空航天實(shí)驗(yàn)
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng),，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢,。