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紫外臭氧清洗機(jī)利用紫外光的特定波長來破壞有機(jī)化合物的化學(xué)鍵,。其中，185nm 波長的紫外光可將空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm 波長的紫外光可以破壞化合物中的鍵（尤其是碳碳鍵）,。臭氧具有強(qiáng)氧化性,，能與被活化的有機(jī)物分子發(fā)生氧化反應(yīng)，將有機(jī)污染物分解成二氧化碳,、水等揮發(fā)性氣體逸出物體表面,，從而清除粘附在物體表面的有機(jī)污染物。

應(yīng)用對象方面：可用于清洗多種材料,，如石英,、硅片、金,、鎳,、鋁、砷化鎵,、氧化鋁等無機(jī)基材,，以及光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體,、集成電路等,。對于這些材料表面的石蠟、松香,、油脂,、光刻膠、環(huán)氧樹脂,、焊劑等有機(jī)污染物，都有很好的清洗效果,。