1. 產(chǎn)品概述

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進(jìn)行的擴(kuò)展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng),，與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比,，在單個(gè) 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長(zhǎng)。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動(dòng)傳輸系統(tǒng),、12 個(gè)源端口和集成到單框架設(shè)計(jì)中的現(xiàn)代電子設(shè)備,，可實(shí)現(xiàn)大的實(shí)驗(yàn)室占地面積效率。

在直徑達(dá) 4 英寸的襯底上實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量外延層

單幀架構(gòu)提高了易用性,，提供了便捷的源訪問和增強(qiáng)的可服務(wù)性

高效的一體化設(shè)計(jì)將手動(dòng)系統(tǒng)與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,，與其他 MBE 系統(tǒng)相比，可節(jié)省 40% 的實(shí)驗(yàn)室空間

非常適合對(duì)各種材料進(jìn)行沿研究,，包括砷化鎵,、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡(jiǎn)單的配方編寫、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器,，可在 1850° 下提供經(jīng)過驗(yàn)證的性能

可直接擴(kuò)展到 GEN20™,、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)