1. 產(chǎn)品概述:
UNECS系列是可以高速,、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式,,實現(xiàn)了高速測量和機(jī)體的小型化,。
我們的產(chǎn)品陣容包括便攜式,自動式和對應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型,。
2. 特點
高速測定
快照方法可實現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測量,。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,,因此非常輕且緊湊,,并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容:
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,,包括如便攜類型,,手動/自動平臺類型,大型基板類型,,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型,。
3. 用途
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,,抗蝕劑,,ITO等)的膜厚,折射率,,消光系數(shù)的測量