1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SE 500adv結(jié)合了橢圓偏振法和反射法,，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴展到 25 μm,。因此,，SE 500adv 擴展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質(zhì),、有機材料,、光刻膠、硅和多晶硅薄膜,。

2. 主要功能與優(yōu)勢

明確的厚度測定

橢圓偏振法和反射法的結(jié)合允許通過自動識別循環(huán)厚度周期來快速,、明確地確定透明薄膜的厚度。

大的測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴展到 25 μm 或更多,，具體取決于所選的光度計選項,。

突破激光橢圓偏振儀的限

多角度手動測角儀具有優(yōu)秀的性能和角度精度，可以測量單片和層疊的折射率,、消光系數(shù)和膜厚,。 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 500adv 可用作激光橢偏儀、膜厚探頭和 CER 橢偏儀,。因此,，它提供了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀無法達(dá)到的大靈活性。作為橢圓儀操作,，可以執(zhí)行單角度和多角度測量,。當(dāng)作為膜厚探頭操作時，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下測量的,。

SE 500adv 中的橢圓偏振法和反射儀 （CER） 組合包括橢偏儀光學(xué)元件,、測角儀、組合反射測量頭和自動準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡,、樣品平臺,、氦氖激光源,、激光檢測單元和光度計。