1 產(chǎn)品概述:
探針臺是一種精密的電子測試設(shè)備,,主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試,。它集成了載物臺、光學(xué)元件,、卡盤,、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個(gè)部分,,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,,從而進(jìn)行高精度的電氣測量。探針臺根據(jù)操作方式可分為手動(dòng),、半自動(dòng)和全自動(dòng)三種類型,每種類型都有其特定的應(yīng)用場景和優(yōu)勢,。
2 設(shè)備用途:
探針臺的主要用途包括:
半導(dǎo)體測試:在晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),探針臺負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測,、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用,。
光電行業(yè)測試:在光電行業(yè)中,,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性,。
集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,,包括功能測試、電參數(shù)測試等,,幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能,。
封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進(jìn)行測試,,確保封裝過程中不會(huì)出現(xiàn)質(zhì)量問題,。
3 設(shè)備特點(diǎn)
探針臺具有以下顯著特點(diǎn):
高精度:探針臺配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機(jī)構(gòu),能夠精確地將探針定位到芯片上的測試點(diǎn),,并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的接觸,,確保測試的準(zhǔn)確性和可靠性。
多功能性:探針臺可用于多種測試場景,,包括晶圓檢測,、芯片研發(fā)、故障分析,、網(wǎng)絡(luò)測量等,,具有廣泛的應(yīng)用范圍。
自動(dòng)化程度高:全自動(dòng)探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU),、模式識別(自動(dòng)對準(zhǔn))等功能,,能夠自動(dòng)完成測試序列,減少人工干預(yù),,提高測試效率,。
靈活性:探針臺可根據(jù)測試需求進(jìn)行配置和調(diào)整,如可選配接入光纖,,將電學(xué)探針替換為光纖,,提高測試靈活性。
4 設(shè)備參數(shù):
結(jié)合了精確的探測臺,、集成的控制軟件和微調(diào)的電動(dòng)定位系統(tǒng)
高度可配置的晶圓探針臺系列可處理 2“ ~ 8" 晶圓,,并提供全面的卡盤系統(tǒng)和探針機(jī)構(gòu)選擇。
高精度電氣和光學(xué)測量(DC/RF/脈沖),。
可選的接觸機(jī)構(gòu)選項(xiàng)包括:探針卡座 (PCH),、楔形探針卡和 MPI F1 單探針模塊。
靈活選擇精密光收集和耦合光學(xué)元件,,以滿足您的特定測試要求,。
MPI 探針臺控制軟件提供全面的控制功能,從基本的晶圓對準(zhǔn),、映射,、探針標(biāo)記檢測到部署 MPI 先進(jìn)的針對準(zhǔn)機(jī)構(gòu) (NAM) 技術(shù),。
MPI 光子學(xué)測試系統(tǒng)采用以用戶為中心的設(shè)計(jì),可根據(jù)您的測試要求靈活配置和編程,。