1 產(chǎn)品概述:

   有機EL成膜設備SOLCIET是一款專為有機電致發(fā)光（Organic Electroluminescence, OLED）技術設計的先進制造設備,。該設備由多個獨立的腔室構成，包括前室,、有機鍍膜室,、電極鍍膜室、中間室和glove box等,，形成了一個從材料評價到產(chǎn)品特性評價的完整實驗系統(tǒng),。SOLCIET設備提供了豐富的選項，如濺射陰極和各種蒸發(fā)源,，以擴大實驗用途的范圍,，并滿足不同研究和生產(chǎn)的需求。其基板尺寸標準通常為100mm,，確保了與多種基板的兼容性,。

2 設備用途：

   有機EL成膜設備SOLCIET主要用于有機電致發(fā)光（OLED）顯示屏和照明產(chǎn)品的制造過程中。具體來說,，它可以在高真空環(huán)境下,，通過物理或化學方法將有機材料均勻地沉積在基板表面,，形成有機發(fā)光層和其他功能層。這些層是OLED器件的核心部分,，對器件的性能和壽命有著至關重要的影響,。因此,，SOLCIET設備在OLED技術的研發(fā),、生產(chǎn)和質量控制中發(fā)揮著關鍵作用。

3 設備特點

  多腔室設計：SOLCIET設備采用多腔室設計,，每個腔室都獨立控制,，可以有效避免不同工藝步驟之間的交叉污染，提高產(chǎn)品質量,。

  高精度控制：設備配備了高精度的控制系統(tǒng),，可以精確控制鍍膜速度、厚度和均勻性等關鍵參數(shù),，確保有機發(fā)光層的質量和性能,。

  豐富的選項：提供了多種濺射陰極和蒸發(fā)源選項，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的配置,，以滿足不同材料和工藝的要求,。

  高兼容性：基板尺寸標準統(tǒng)一，與多種基板兼容,，方便用戶在不同項目和研究中靈活切換,。
4 技術參數(shù)和特點：

SOLCIET有室、有機鍍膜室,、電鍍膜室,、中間室和glove box獨立的腔室構成、可以進行從材料評價到產(chǎn)品特性評價的實驗系統(tǒng),。我們還提供豐富的選項,，如濺射陰和各種蒸發(fā)源，以擴大實驗用途的范圍,。對應的基板尺寸標準是100mm,。SATELLA采用獨立的工藝室制造多腔室樣式，可以進行SOLCIET難以進行的全色產(chǎn)品評估,。它有一個8角形傳輸室,，可根據(jù)實際需求容納2到4個有機沉積室。此外,，它配備了高精度的掩模對準機制,，并支持有源矩陣全彩設備（active matrix full-color device）。對應的電路板尺寸的標準是200 mm,。ZELDA系列是批量生產(chǎn)兼容系統(tǒng),。我們有豐富的應用,，包括新開發(fā)的蒸發(fā)源?？梢詫碾娐钒宄叽缡?span>G2或更大,。