一,、產(chǎn)品概述：
SL-1023化學(xué)機械磨拋機,，適用于 CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機研磨部分采用防腐材料,，耐化學(xué)腐蝕,，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板,，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求,。
二、設(shè)備特點：
·超平不銹鋼拋光盤（平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）,。
·超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于 0.01mm）,。 ·設(shè)有兩個加工工位，可分別進行控制,。
·配有全自動控制觸摸屏面板,，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度,、磨拋時間,。 ·配置自動滴料器,，流量速率可視化調(diào)整， 自動研磨和拋光,。
·配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀,，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型,，使磨拋更加方便快捷,。 ·研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕,。
三,、主要技術(shù)指標(biāo)：
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ , 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1,、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水 2,、電：AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、氣：無 4,、工作臺：尺寸 800mm×600mm×700mm,，承重 200kg 以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | ||
主要參數(shù) | 主機部分 | GPC-100A 精密磨拋控制儀 | 自動滴料器 |
1,、電源:220V 2,、功率:450W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4,、磨拋工位:2 個 5,、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7,、不銹鋼磨拋盤: φ300mm 8,、載樣盤 : φ 105mm 9、修盤環(huán) : φ 127.5mm
| 1,、載樣盤直徑：?103mm 2,、載樣盤軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4,、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5,、壓力確認(rèn)儀有效量程： 1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7,、承載樣件尺寸： 直徑≤103mm,、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑 146mm,，高 266mm
| SKZD-2 滾筒滴料器 1,、容積：1.5L 2,、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm,； 重量：3kg SKZD-4 自動滴料器 1,、加液泵：4 個 2、料液瓶：600ml/瓶 3,、計時范圍：1-999min 4,、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm,； 重量：10kg
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產(chǎn)品規(guī)格： ·尺寸：550mm×700mm×420mm ·重量：74Kg
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