一,、全新CIF 實驗室型等離子清洗機 產(chǎn)品介紹

CIF推出全新一代實驗室型等離子體清洗設(shè)備,，并非傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念，可中試生產(chǎn),、模擬生產(chǎn)條件,，幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。采用頂置真空倉,，上開蓋下壓式鉸鏈開關(guān)方式,，上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計，具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積,，使用成本低,，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學(xué),，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn),。

二、全新CIF 實驗室型等離子清洗機 產(chǎn)品特點

1.7寸彩色觸摸屏互動操作界面,，圖形化用戶操作界面顯示,，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序,，可存儲,、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),，機器運行,、停止提示。

2. PLC工控機控制整個清洗過程,，手動,、自動兩種工作模式。

3. 石英真空倉,，真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),，耐腐蝕無污染。

4. 采用質(zhì)量流量計實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制,，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準(zhǔn)確問題,。

5. HEPA高效過濾，氣體返填吹掃,，防止二次污染,。

6. 60度傾角操作界面設(shè)計，符合人體功能學(xué),，操作方便,，界面友好。

7. 頂置真空倉,，上開蓋設(shè)計,，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便,。

8. 采用花灑式多孔進氣方式,，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

9. 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,，符合人體功能學(xué),，操作更方便。

10. 有效清洗面積大,，可清洗最大直徑8寸硅片,。

11. 可處理不同幾何形狀,、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷,、玻璃,、硅片、塑料等樣品,，進行清洗和改性,。

12. 安全保護，倉門打開,，自動關(guān)閉電源,。

三、技術(shù)參數(shù)