1. 產(chǎn)品介紹
磁控濺射鍍膜機Sputter
2. 應(yīng)用領(lǐng)域
巨磁電阻（GMR）、組合材料科學(xué)（CMS）,、半導(dǎo)體,、超導(dǎo)體、納米級器件,、光子學(xué),、光伏（PV）、OLED（發(fā)光二極管）,、有機薄膜,。
3. 技術(shù)參數(shù)
最大樣品尺寸：8英寸
濺射源：強磁靶、永磁靶,，數(shù)量根據(jù)用戶定制
電源：直流電源,、射頻電壓
真空系統(tǒng)：超高真空
樣品臺加熱：最高至1100℃
控制系統(tǒng)：全自動控制
進樣室：根據(jù)用戶需求定制
4. 企業(yè)簡介
深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。
致力于提供半導(dǎo)體制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護,、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。
公司已授實用新型權(quán)利 29 項,，軟件著作權(quán) 14 項,，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。
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