一,、產(chǎn)品概述：

精密離子減薄儀是一種高精度的樣品制備設(shè)備,，專門用于通過離子轟擊去除材料表面層,，以實現(xiàn)樣品的薄化和表面優(yōu)化。該儀器廣泛應(yīng)用于材料科學,、電子顯微鏡樣品制備和半導(dǎo)體行業(yè),。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

精密離子減薄儀主要用于制備電子顯微鏡樣品,，幫助研究人員獲得高質(zhì)量的超薄樣品,，以便進行微觀結(jié)構(gòu)分析和材料特性研究。它也適用于去除表面缺陷和改善材料的表面質(zhì)量,，以滿足高的應(yīng)用需求,。

·工作原理

精密離子減薄儀通過生成高能離子束并將其聚焦到樣品表面，利用離子轟擊去除表面材料,。儀器可以精確控制離子束的能量,、轟擊角度和處理時間，以實現(xiàn)均勻的減薄效果,。通過調(diào)節(jié)這些參數(shù),，用戶能夠獲得所需的樣品厚度和表面特性，確保樣品在后續(xù)電子顯微鏡觀察中的高分辨率和準確性,。

三,、主要技術(shù)指標：

1. 兩支獨立可調(diào)電磁聚焦離子槍

2. 同時具備高能量(快速拋光)和低能量(精細修復(fù))

3. 超寬加速電壓范圍：100eV 到 10kV,，不同加速電壓下,，離子束束斑均保持細優(yōu)束斑狀態(tài)

4. 每支離子槍均配備對應(yīng)法拉第杯進行離子束直接探測

5. 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng)，人機界面友好,，操作簡潔

6. 自動獨立氣源控制

7. 減薄角度范圍：-15°~+10°連續(xù)可調(diào)

8. 樣品載臺X-Y可調(diào),，可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置

9. 具備原位實時觀察及記錄減薄過程功能

10 .樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺，離子束自動避讓樣品夾

11. 可通過時間,、溫度以及透光性自動停止

12. 可選液氮冷臺配置,，去除熱效應(yīng)對樣品的損傷

13. 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置,，隔絕樣品與水氧接觸