一,、產(chǎn)品概述：

探針臺是一種用于微小電子元件和材料的測試設(shè)備,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、材料科學(xué)和微電子領(lǐng)域,。它提供一個穩(wěn)定的平臺，用于精確定位和連接探針,，以實(shí)現(xiàn)對樣品的電氣測試和分析,。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

探針臺主要用于測試集成電路,、薄膜材料和微結(jié)構(gòu)等的電氣性能,。常見應(yīng)用包括半導(dǎo)體器件的參數(shù)測試,、材料的電阻率測量和故障分析等,。通過高精度的定位和可調(diào)節(jié)的探針,，研究人員能夠獲取樣品的詳細(xì)電氣特性,。

·工作原理

探針臺的工作原理是通過機(jī)械系統(tǒng)將探針精確地定位到樣品的特定接觸點(diǎn)。設(shè)備通常配備高分辨率的光學(xué)系統(tǒng),，用于觀察樣品并調(diào)整探針的位置,。當(dāng)探針接觸樣品時,，可以通過外部測試設(shè)備（如源測量單元）施加電流或電壓,，并測量相應(yīng)的電壓或電流反應(yīng)。通過這種方式，研究人員可以獲取樣品的電氣參數(shù),，分析其性能和特性,。

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

1. 探針臺主要應(yīng)用于晶圓,、芯片,、器件、封裝等半導(dǎo)體制程測試環(huán)節(jié)

2. 樣品尺寸：碎片~12英寸

3. 自動化：手動,、半自動,、全自動

4. 測試環(huán)境：高低溫,、磁場、真空

5. 探針臺類型：分析探針臺,、直流,、射頻,、高壓、毫米波,、太赫茲,、硅光測量、芯片測量,、定制化等,。