1 產(chǎn)品概述:
半導(dǎo)體烘箱是一種專門用于半導(dǎo)體芯片,、電子元器件等材料進(jìn)行熱處理的設(shè)備,。它通過高溫加熱的方式,對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行烘干,、固化,、烘焙等處理過程,,以提高半導(dǎo)體芯片的性能穩(wěn)定性和可靠性,。半導(dǎo)體烘箱采用先進(jìn)的溫度控制系統(tǒng)和加熱技術(shù),能夠精確控制加熱過程中的溫度波動(dòng)范圍,,確保半導(dǎo)體芯片在熱處理過程中不受損害,。
2 設(shè)備用途:
半導(dǎo)體烘箱的主要用途包括:
半導(dǎo)體芯片制造:在半導(dǎo)體芯片制造過程中,烘箱用于烘干,、固化和烘焙芯片,,以提高芯片的穩(wěn)定性和可靠性。
電子元器件處理:對(duì)于電子元器件,,如LED封裝,、印刷電路板等,半導(dǎo)體烘箱可用于去除水分,、氣體,,保證元器件的質(zhì)量穩(wěn)定性和壽命。
熱處理實(shí)驗(yàn):在科研和實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域,,半導(dǎo)體烘箱也常用于烘烤,、老化實(shí)驗(yàn),,檢驗(yàn)電子元?dú)饧?、儀器儀表等材料在溫度環(huán)境下的性能指標(biāo),。
3 設(shè)備特點(diǎn)
半導(dǎo)體烘箱的特點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
高精度溫度控制:半導(dǎo)體烘箱具備高精度的溫度控制系統(tǒng),,能夠精確控制加熱過程中的溫度波動(dòng)范圍,通常誤差小于1℃,,確保熱處理過程的穩(wěn)定性和可靠性,。
先進(jìn)加熱技術(shù):采用不銹鋼加熱管等高效加熱元件,加熱速度快,,熱效率高,,且使用壽命長(zhǎng)。
多種送風(fēng)方式:部分半導(dǎo)體烘箱采用的水平+垂直送風(fēng)相結(jié)合的強(qiáng)壓鼓風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),,使溫度更加均勻,提高熱處理效果,。
4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn):
1. 含氧控制:500PPM以內(nèi)
2. 溫度范圍:Room temp. +20~500℃
3. 控溫精度:±1.0℃
4. 溫度均勻性:±2.5%℃
5. 升溫時(shí)間:RT~ 500℃≤60min